12月01日,星期二
2020-12-01 19:33
中科院研发者回应5纳米光刻技术突破ASML垄断

要突破荷兰ASML(阿斯麦)(NASDAQ:ASML)在光刻机上的垄断,还有很多核心技术需要突破,例如镜头的数值孔径、光源的波长等。

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